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去年,IECTC47/SC47E(半导体分立器件标准化分技术委员会)和IECTC47/SC47F(MEMS标准化分技术委员会)工作组会议及MEMS标准研讨会在日本东京开会。共计来自中国、日本、韩国的37位专家参与。
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